RU.77.99.32.008.Е.005431.07.14
Номер свидетельства
RU.77.99.32.008.Е.005431.07.14
Наименование продукции
Оксид триэтоксифосфата / TEPO (TRIETHYL PHOSPHATE) Наименование вещества по IUPAC: Триэтилфосфат; синонимы и торговые названия: Этилфосфат; трисэтиловый эфир фосфорной кислоты; этиловый эфир фосфорной кислоты; CAS: 78-40-0 ЕС: 201-114-9
Наименование получателя
ООО "ЭЛИНТ СП", 127018, г. Москва, 3-й проезд Марьиной Рощи, д. 40, стр. 1, этаж 6 (Российская Федерация)
Наименование изготовителя
"ATMI GmbH", Inselkammerstrasse 2, D-82008, Unterhaching (Гeрмания)
Область применения продукции
для осаждения легированных фосфором слоев оксида кремния при производстве микросхем большой интеграции
В соответствии с РУ
паспорт безопасности (MSDS)
Типографский номер бланка
251467
Документы
Единым санитарно-эпидемиологическим и гигиеническим требованиям к товарам, подлежащим санитарно-эпидемиологическому надзору (контролю)
Протоколы исследований
экспертного заключения об опасных свойствах вещества ФБУЗ "Российский регистр потенциально опасных химических и биологических веществ" Роспотребнадзора № 07/22-620 от 10.06.2014 г., Информационной карты потенциально опасного химического и биологического вещества серия ВT № 001856
Этикетка
Наименование продукции, название и адрес фирмы - изготовителя, информация о составе, дата изготовления, срок хранения, условия хранения
Свидетельство от
Федеральная Служба
Гигиенические характеристики
"Продукт по параметрам острой токсичности при внутрижелудочном и ингаляционном поступлении в организм отнесены к умеренно опасным веществам (3 класс опасности), при нанесении на кожу отнесен к малоопасным веществам (4 класс опасности). Обладает слабой кумулятивной способностью. Раздражает кожу и слизистые оболочки глаз, проникает через неповрежденные кожные покровы. Не вызывает сенсибилизирующее действие; не оказывает неблагоприятного воздействия на репродуктивную функцию и не обладает тератогенным действием в исследованиях на животных. Триэтилфосфат внесен ВОЗ и Американским агентством по охране окружающей среды в перечень потенциальных разрушителей эндокринной системы. ",