RU.77.99.32.008.Е.005198.11.16

Номер свидетельства

RU.77.99.32.008.Е.005198.11.16

Наименование продукции

Оксид триэтоксифосфата/TEPO (TRIETHYL PHOSPHATE). Наименование вещества: по IUPAC: Триэтилфосфат. синонимы и торговые названия: Этилфосфат; трисэтиловый эфир фосфорной кислоты; этиловый эфир фосфорной кислоты; триэтоксифосфин оксид. (CAS: 78-40-0) (EC: 201-114-5)

Наименование получателя

ООО "ЭЛИНТ СП", 127018, г. Москва, 3-й проезд Марьиной Рощи, д. 40, стр. 1, этаж 6 (Российская Федерация)

Наименование изготовителя

"Versum Materials US, LLC", 7201 Hamilton Blvd, Allentown PA 18195-1501, USA (США)

Область применения продукции

для осаждения легированных фосфором слоев оксида кремния при производстве микросхем сверхбольшой интеграции

В соответствии с РУ

паспорт безопасности (SDS)

Типографский номер бланка

335710

Документы

Единым санитарно-эпидемиологическим и гигиеническим требованиям к товарам, подлежащим санитарно-эпидемиологическому надзору (контролю)

Протоколы исследований

экспертного заключения об опасных свойствах вещества ФБУЗ "Российский регистр потенциально опасных химических и биологических веществ" Роспотребнадзора № 07/22-1318 от 03.11.2016 г. Информационной карты потенциально опасного химического и биологического вещества серия ВТ № 001856

Этикетка

Наименование продукции, название и адрес фирмы - изготовителя, информация о составе, дата изготовления, срок хранения, условия хранения

Свидетельство от

Федеральная Служба

Гигиенические характеристики

"Продукт по параметрам острой токсичности при внутрижелудочном и ингаляционном поступлении в организм отнесен к умеренно опасным веществам (3 класс опасности), при нанесении на кожу отнесен к малоопасным веществам (4 класс опасности). Обладает слабой кумулятивной способностью. Раздражает кожу и слизистые оболочки глаз, проникает через неповрежденные кожные покровы. Не вызывает сенсибилизирующее действие. Не обладает репротоксическим и тератогенным действием в исследовании на животных. ",