ГОСТ Р 8.628-2007

Обозначение

ГОСТ Р 8.628-2007

Заглавие на русском языке

Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления

Заглавие на английском языке

State system for ensuring the uniformity of measurements. Single-crystal silicon nanometer range relief measures. Requirements for geometrical shapes, linear sizes and manufacturing material selection

Дата введения в действие

01.02.2008

ОКС

17.040.01

Код КГС

Т88

Аннотация (область применения)

Настоящий стандарт устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния для диапазона линейных измерений от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м. Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.631 и сканирующих зондовых атомно-силовых измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.630 при проведении государственного метрологического контроля (надзора), а также на рельефные меры, используемые при калибровке указанных типов микроскопов

Ключевые слова

длина; рельефные меры нанометрового диапазона; монокристаллический кремний; размеры; формы; материал; растровые электронные измерительные микроскопы; зондовые сканирующие атомно-силовые измерительные микроскопы

Термины и определения

Раздел стандарта

Вид стандарта

1 - Основополагающие стандарты

Дескрипторы (английский язык)

state system, measurements, uniformity ensuring, single- crystal silicon, nanometer range, relief measure, geometrical shapes, linear size, manufacturing material

Нормативные ссылки на: ГОСТ

Управление Ростехрегулирования

2 - Управление метрологии

Количество страниц (оригинала)

Организация - Разработчик

Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума"

Статус

Действует

Код цены