ГОСТ Р 8.629-2007

Обозначение

ГОСТ Р 8.629-2007

Заглавие на русском языке

Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки

Заглавие на английском языке

State system for ensuring the uniformity of measurements. Nanometer range relief measures with trapezoidal profile of elements. Methods for verification

Дата введения в действие

01.02.2008

ОКС

17.040.01

Код КГС

Т88

Аннотация (область применения)

Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов, линейные размеры и материал для изготовления которых соответствуют требованиям ГОСТ Р 8.628. Рельефные меры применяют при измерении линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м. Настоящий стандарт устанавливает методику первичной и периодических поверок рельефных мер. Межповерочный интервал рельефной меры - один год

Ключевые слова

рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов; сканирующий зондовый атомно-силовой микроскоп; лазерный интерферометр; методика поверки

Термины и определения

Раздел стандарта

Вид стандарта

1 - Основополагающие стандарты

Дескрипторы (английский язык)

state system, measurements, uniformity ensuring, nanometer range, relief measure, trapezoidal profile, elements, verification