ГОСТ Р 8.631-2007

Обозначение

ГОСТ Р 8.631-2007

Заглавие на русском языке

Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые. Методика поверки

Заглавие на английском языке

State system for ensuring the uniformity of measurements. Scanning electron microscopes. Methods for verification

Дата введения в действие

01.02.2008

ОКС

17.040.01

Код КГС

Т88

Аннотация (область применения)

Настоящий стандарт распространяется на измерительные растровые электронные микроскопы (РЭМ), применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с помощью рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629. Межповерочный интервал РЭМ - 6 мес.

Ключевые слова

длина; рельефные меры нанометрового диапазона; растровые электронные измерительные микроскопы; методика поверки

Термины и определения

Раздел стандарта

Вид стандарта

1 - Основополагающие стандарты

Дескрипторы (английский язык)

state system, uniformity ensuring, measurements, scanning, electron measuring microscopes, verification

Нормативные ссылки на: ГОСТ

Управление Ростехрегулирования

2 - Управление метрологии

Количество страниц (оригинала)

15

Организация - Разработчик

Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума"

Статус

Действует

Код цены

2