ГОСТ Р 8.630-2007

Обозначение

ГОСТ Р 8.630-2007

Заглавие на русском языке

Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика поверки

Заглавие на английском языке

State system for ensuring the uniformity of measurements. Atomic-force scanning probe microscopes. Methods for verification

Дата введения в действие

01.02.2008

ОКС

17.040.01

Код КГС

Т88

Аннотация (область применения)

Настоящий стандарт распространяется на сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с использованием рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629. Межповерочный интервал микроскопа - один год

Ключевые слова

длина; рельефные меры нанометрового диапазона; сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные микроскопы; методика поверки

Термины и определения

Раздел стандарта

Вид стандарта

1 - Основополагающие стандарты

Дескрипторы (английский язык)

state system, uniformity ensuring, measurements, atomic-force scanning probe, measuring microscopes, verification

Нормативные ссылки на: ГОСТ

Управление Ростехрегулирования

2 - Управление метрологии

Количество страниц (оригинала)

15

Организация - Разработчик

Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума"

Статус

Действует

Код цены

2