ГОСТ Р 8.636-2007

Обозначение

ГОСТ Р 8.636-2007

Заглавие на русском языке

Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые. Методика калибровки

Заглавие на английском языке

State system for ensuring the unifоrmity of measuremеnts. Scanning electron microscopes. Methods for calibration

Дата введения в действие

01.08.2008

ОКС

17.040.01

Код КГС

Т88

Аннотация (область применения)

Настоящий стандарт распространяется на растровые электронные микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м, и устанавливает методику их калибровки с помощью рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629

Ключевые слова

длина; рельефные меры нанометрового диапазона; растровые электронные микроскопы; методика калибровки

Термины и определения

Раздел стандарта

Вид стандарта

1 - Основополагающие стандарты

Дескрипторы (английский язык)

state system, ensuring, unifоrmity, measuremеnts, scanning electron microscopes, calibration

Нормативные ссылки на: ГОСТ

Управление Ростехрегулирования

2 - Управление метрологии

Количество страниц (оригинала)

11

Организация - Разработчик

Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума"; Государственное образовательное учреждение высшего професионального образования "Московский физико-технический институт (государственный университет)"

Статус

Действует

Код цены

2