ГОСТ Р 8.635-2007

Обозначение

ГОСТ Р 8.635-2007

Заглавие на русском языке

Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика калибровки

Заглавие на английском языке

State system for ensuring the unifоrmity of measuremеnts. Atomic-forсe scanning probe microscopes. Method for calibration

Дата введения в действие

01.08.2008

ОКС

17.040.01

Код КГС

Т88

Аннотация (область применения)

Настоящий стандарт распространяется на сканирующие зондовые атомно-силовые микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м, и устанавливает методику их калибровки с использованием рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629

Ключевые слова

длина; рельефные меры нанометрового диапазона; сканирующие зондовые атомно-силовые микроскопы; методика калибровки

Термины и определения

Раздел стандарта

Вид стандарта

1 - Основополагающие стандарты

Дескрипторы (английский язык)

state system, ensuring, unifоrmity, measuremеnts, atomic-forсe microscopes, scanning probe microscopes, calibration

Нормативные ссылки на: ГОСТ

Управление Ростехрегулирования

2 - Управление метрологии

Количество страниц (оригинала)

11

Организация - Разработчик

Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума"; Государственное образовательное учреждение высшего професионального образования "Московский физико-технический институт (государственный университет)"

Статус

Действует

Код цены

2