ГОСТ Р 8.644-2008

Обозначение

ГОСТ Р 8.644-2008

Заглавие на русском языке

Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика калибровки

Заглавие на английском языке

State system for ensuring the uniformity of measurements. Nanometer range relief measures with trapezoidal profile of elements. Methods for calibration

Дата введения в действие

01.06.2009

ОКС

17.040.01

Код КГС

Т88

Аннотация (область применения)

Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов, линейные размеры и материал для изготовления которых соответствуют требованиям ГОСТ Р 8.628. Рельефные меры применяют для измерения линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м. Настоящий стандарт устанавливает методику калибровки рельефных мер

Ключевые слова

рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов; сканирующий зондовый атомно-силовой микроскоп; лазерный интерферометр; методика калибровки

Термины и определения

Раздел стандарта

Вид стандарта

1 - Основополагающие стандарты

Дескрипторы (английский язык)

state system, ensuring, uniformity, measurements, nanometer range, measure, trapezoidal profile, elements, method, calibration

Нормативные ссылки на: ГОСТ

Документ принят организацией СНГ

Межгосударственный Совет по стандартизации метрологии и сертификации

Управление Ростехрегулирования

2 - Управление метрологии

Количество страниц (оригинала)

20

Организация - Разработчик

Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума"; Федеральное государственное учреждение "Российский научный центр "Курчатовский институт"; Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский физико-технический институт (государственный университет)"

Статус

Действует

Код цены

3