ГОСТ Р 71994-2025

Обозначение

ГОСТ Р 71994-2025

Заглавие на русском языке

Системы подготовки воды для электронной промышленности

Заглавие на английском языке

Systems of ultrapure water treatment for electronics industry

Дата введения в действие

01.11.2025

ОКС

13.060.25

Аннотация (область применения)

Настоящий стандарт распространяется на системы получения и распределения ультрачистой (деионизованной) воды для производства изделий электронной техники. Настоящий стандарт содержит требования к ультрачистой воде. Классификация воды по качеству введена в зависимости от топологии технологического процесса производства микросхем. В настоящем стандарте установлены требования к системам получения и распределения ультрачистой воды. Требования стандарта распространяются на проектирование, монтаж, ввод в эксплуатацию, испытания, эксплуатацию и техническое обслуживание систем подготовки ультрачистой воды

Ключевые слова

ультрачистая вода, деионизованная вода, сверхчистая вода, электронная промышленность, ионобменная смола, обратный осмос, ультрафильтрация, проводимость, общий органический углерод

Термины и определения

Раздел стандарта

Вид стандарта

3 - Стандарты на продукцию (услуги)

Нормативные ссылки на: ГОСТ

Управление Ростехрегулирования

1 - Управление стандартизации

Количество страниц (оригинала)

66

Организация - Разработчик

Акционерное общество «НАУЧНО-ПРОИЗВОДСТВЕННАЯ КОМПАНИЯ МЕДИАНА-ФИЛЬТР» (АО «НПК МЕДИАНА-ФИЛЬТР»)

Статус

Действует

Код цены

5