ГОСТ Р 52250-2004

Обозначение

ГОСТ Р 52250-2004

Заглавие на русском языке

Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия

Заглавие на английском языке

Electronic engineering materials. Resists for lithography processes. General specifications

Дата введения в действие

01.01.2005

ОКС

71.080.99

Код ОКП

249642

Код КГС

Э10

Аннотация (область применения)

Настоящий стандарт распространяется на резисты литографических процессов производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем

Ключевые слова

резист; чувствительность к излучению; разрешающая способность; состав параметров; сохраняемость; испытания; приемка

Термины и определения

Раздел стандарта

Вид стандарта

4 - Стандарты на методы контроля

Вид требований

Документ имеет отметку *

Дескрипторы (английский язык)

electronic engineering materials, resists, lithography processes, specifications

Нормативные ссылки на: ГОСТ

Документ внесен организацией СНГ

Госстандарт России

Документ принят организацией СНГ

Межгосударственный Совет по стандартизации метрологии и сертификации

Управление Ростехрегулирования

000 - Управление стандартизации

Количество страниц (оригинала)

31

Организация - Разработчик

Открытое акционерное общество "Российский научно-исследовательский институт "Электронстандарт"; Федеральное государственное унитарное предприятие "22 Центральный научно-исследовательский испытательный институт Министерства обороны РФ"

Статус

Действует

Код цены

3