ГОСТ 26239.3-84

Вернуться к списку

ГОСТ 26239.3-84

Сохранить

Обозначение

ГОСТ 26239.3-84

Заглавие на русском языке

Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы определения фосфора

Заглавие на английском языке

Semiconductor selicon, raw materials for its production and quartz. Methods of phosphorus determination

Дата введения в действие

01.01.1986

ОКС

29.045

Код КГС

В59

Код ОКСТУ

1709

Аннотация (область применения)

Настоящий стандарт устанавливает экстракционно-фотометрический метод определения фосфора в техническом кремнии, экстракционно-колориметрический метод определения фосфора в трихлорсилане и тетрахлориде кремния и двуокиси кремния (синтетическом кварце); нейтронно-активационный метод определения фосфора в полупроводниковом кремнии

Ключевые слова

кремний полупроводниковый; кремний технический; трихлорсилан; тетрохлорид кремния; двуокись кремния; определение фосфора; метод экстракционно-фотометрический; метод экстракционно-колориметрический; метод нейтронно-активационный; аппаратура; материалы; реактивы

Вид стандарта

4 - Стандарты на методы контроля

Вид требований

Документ имеет отметку *