ГОСТ 26239.1-84

Обозначение

ГОСТ 26239.1-84

Заглавие на русском языке

Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Метод определения примесей

Заглавие на английском языке

Semiconductor silicon, raw materials for its production and quartz. Method of impurities determination

Дата введения в действие

01.01.1986

ОКС

29.045

Код КГС

В59

Код ОКСТУ

1709

Аннотация (область применения)

Настоящий стандарт устанавливает химико-атомно-эмиссионный метод определения примесей в интервалах значений массовых долей в полупроводниковом кремнии, двуокиси кремния, кварце, четуреххлористом кремнии и трихлорсилане

Ключевые слова

кремний полупроводниковый; двуокись кремния; кварц; кремний четыреххлористый; трихлорсилан; определение примесей методом химико-атомно-эмиссионным; аппаратура; материалы; реактивы

Вид стандарта

Стандарты на методы контроля

Вид требований

Документ имеет отметку *

Нормативные ссылки на: ГОСТ

Нормативные ссылки на: Прочие

ТУ 6-09-5382-88

Документ внесен организацией СНГ

Минцветмет СССР

Управление Ростехрегулирования

320 - Управление стандартизации и сертификации сырья и материалов

Разработчик МНД

Российская Федерация

Межгосударственный ТК

104 - Полупроводниковая и редкометаллическая продукция

Входит в сборник

Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы анализа

Количество страниц (оригинала)

19

Организация - Разработчик

Минцветмет СССР

Статус

Действует

Код цены

3

Ограничение срока действия снято

Протокол № 7-95 МГС от 01.03.95 (ИУС № 11-95)