ГОСТ Р ИСО 14644-14-2023

Обозначение

Заглавие на русском языке

Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 14. Оценка пригодности оборудования к использованию по концентрации аэрозольных частиц

Заглавие на английском языке

Cleanrooms and associated controlled environments. Part 14. Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration

Дата введения в действие

01.01.2024

ОКС

13.040.01;19.020;07.030

Аннотация (область применения)

Настоящий стандарт устанавливает методику оценки пригодности оборудования (например, технологического оборудования, контрольно-измерительных приборов, частей и инструментов) к использованию в чистых помещениях и связанных с ними контролируемых зонах по концентрации аэрозольных частиц в соответствии с ИСО 14644-1. Размер частиц находится в пределах от 0,1 до 5 мкм согласно ИСО 14644-1

Ключевые слова

чистые помещения, контролируемые среды, оборудование, классификация чистоты, счетчик частиц, концентрация частиц, пригодность к использованию

Термины и определения

Раздел стандарта

Вид стандарта

3 - Стандарты на продукцию (услуги)

Аутентичный текст с ISO

ISO 14644-14:2016

Нормативные ссылки на: ISO

ISO 14644-1:2015;ISO 14644-3:2005

Управление Ростехрегулирования

1 - Управление стандартизации

Количество страниц (оригинала)

Организация - Разработчик

ООО «Чистые технологии»

Статус

Действует

Код цены