ГОСТ Р ИСО 14644-12-2020

Обозначение

Заглавие на русском языке

Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 12. Требования к текущему контролю чистоты воздуха по концентрации частиц с размерами в нанодиапазоне

Заглавие на английском языке

Cleanrooms and associated controlled environments. Part 12. Specifications for monitoring air cleanliness b nanoscale particle concentration

Дата введения в действие

01.12.2020

ОКС

13.040.35;19.020;07.030

Аннотация (область применения)

Настоящий стандарт устанавливает требования к текущему контролю чистоты воздуха по концентрации аэрозольных частиц в нанодиапазоне. Для целей настоящего стандарта используются только частицы с пороговым размером 0,1 мкм (100 нм) и ниже – «нанодиапазон». Текущий контроль, представленный в настоящем стандарте, применим, в основном, для эксплуатируемого состояния

Ключевые слова

чистые помещения, контролируемые среды, наночастица, нанодиапазон, классификация чистоты, счетчик частиц

Термины и определения

Раздел стандарта

Вид стандарта

3 - Стандарты на продукцию (услуги)

Аутентичный текст с ISO

ISO 14644-12:2018

Управление Ростехрегулирования

1 - Управление технического регулирования и стандартизации

Количество страниц (оригинала)

Организация - Разработчик

ООО «Чистые технологии»

Статус

Действует

Код цены