ГОСТ Р 8.716-2010

Обозначение

ГОСТ Р 8.716-2010

Заглавие на русском языке

Государственная система обеспечения единства измерений. Рефлектометры экстремального ультрафиолетового излучения для измерений характеристик многослойных наноструктур в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм. Методика измерений

Заглавие на английском языке

State system for ensuring the uniformity of measurements. Reflectometers of the extreme ultraviolet radiation for measurements of the characteristics of multilayer nanostructures in the wavelength range from 10 to 30 nm. Measurements procedure

Дата введения в действие

01.01.2012

ОКС

17.020

Код КГС

Т84

Код ОКСТУ

0008

Аннотация (область применения)

Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик многослойных наноструктур в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм - рефлектометры экстремального вакуумного ультрафиолетового излучения, предназначенные для измерения коэффициентов зеркального и диффузного отражения, и устанавливает методику измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражения. ЭУФ рефлектометры обеспечивают в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм измерение коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне значений от 0,01 до 0,99. В качестве источников непрерывного ЭУФ излучения используют электронные накопительные кольца. В качестве источников импульсного ЭУФ излучения используют открытые излучатели на основе капиллярного разряда с испаряющейся стенкой или плазменного фокуса, а также электронные синхротроны. В качестве приемников ЭУФ излучения используют солнечно-слепые фотодиоды на основе многослойных наноструктур

Ключевые слова

спектральные коэффициенты зеркального и диффузного отражения; сила излучения; спектральная чувствительность; средства измерений; ультрафиолетовое излучение

Вид стандарта

1 - Основополагающие стандарты

Дескрипторы (английский язык)

state system, ensuring, uniformity, measurements, reflectometers, extreme ultraviolet radiation, characteristics, multilayer nanostructures, wavelength range

Нормативные ссылки на: ГОСТ

Документ внесен организацией СНГ

Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (Росстандарт)

Управление Ростехрегулирования

2 - Управление метрологии

Количество страниц (оригинала)

12

Организация - Разработчик

Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений» (ФГУП «ВНИИОФИ»)

Статус

Действует

Код цены

2