ГОСТ Р 8.659-2009

Обозначение

ГОСТ Р 8.659-2009

Заглавие на русском языке

Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

Заглавие на английском языке

State system for ensuring the uniformity of measurements Instruments measuring the characteristics of ultraviolet radiation of technological testing of nanophotolitography.Verification procedure

Дата введения в действие

01.01.2011

ОКС

17.020

Код КГС

Т84.10

Код ОКСТУ

0008

Аннотация (область применения)

Настоящий стандарт распространяется на средства измерений (СИ) характеристик ультрафиолетового (УФ) излучения, используемые при технологическом контроле в нанофотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок

Ключевые слова

энергетическая яркость; сила излучения; спектральная чувствительность; средства измерений; ультрафиолетовое излучение; нанофотолитография; синхротронное излучение

Термины и определения

Раздел стандарта

Вид стандарта

4 - Стандарты на методы контроля

Дескрипторы (английский язык)

state system, ensuring, uniformity, measurements, instruments, measuring, characteristics, ultraviolet radiation, technological testing, nanophotolitography, verification

Нормативные ссылки на: ГОСТ

Документ внесен организацией СНГ

Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (Росстандарт)

Управление Ростехрегулирования

2 - Управление метрологии

Количество страниц (оригинала)

16

Организация - Разработчик

Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений» (ФГУП ВНИИОФИ)

Статус

Действует

Код цены

2