ГОСТ Р 8.643-2008

Обозначение

ГОСТ Р 8.643-2008

Заглавие на русском языке

Государственная система обеспечения единства измерений. Рефлектометры экстремального ультрафиолетового излучения в диапазоне длин волн 10 - 30 нм. Методика поверки

Заглавие на английском языке

State system for ensuring the uniformity of measurements. Reflectometers for extreme ultraviolet in region 10 - 30 nm. Verification procedure

Дата введения в действие

01.02.2009

ОКС

17.020

Код КГС

Т84

Код ОКСТУ

0008

Аннотация (область применения)

Настоящий стандарт распространяется на средства измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражений в диапазоне экстремального ультрафиолетового (ЭУФ) излучения - ЭУФ-рефлектометры, используемые в диапазоне измеряемых значений коэффициентов зеркального и диффузного отражений от 0,01 до 0,7 в диапазоне длин волн 10 - 30 нм, и устанавливает методику их поверки

Ключевые слова

рефлектометр; коэффициент диффузного отражения; коэффициент зеркального отражения; средство измерений; вакуумное ультрафиолетовое излучение; экстремальный ультрафиолет

Термины и определения

Раздел стандарта

Вид стандарта

1 - Основополагающие стандарты

Дескрипторы (английский язык)

state system, ensuring, uniformity, measurements, reflectometers, extreme ultraviolet, verification procedure

Нормативные ссылки на: ГОСТ

Документ внесен организацией СНГ

Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (Росстандарт)

Документ принят организацией СНГ

Межгосударственный Совет по стандартизации метрологии и сертификации

Управление Ростехрегулирования

2 - Управление метрологии

Количество страниц (оригинала)

8

Организация - Разработчик

Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений" (ФГУП ВНИИОФИ)

Статус

Действует

Код цены

1