ГОСТ Р 8.640-2008

Обозначение

ГОСТ Р 8.640-2008

Заглавие на русском языке

Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки

Заглавие на английском языке

State sysem for ensuring the uniformity of measurements. Radiometers of ultraviolet radiation measurements for photolithography technological processes testing. Verification methods

Дата введения в действие

01.01.2009

ОКС

17.020

Код КГС

Т84

Код ОКСТУ

0008

Аннотация (область применения)

Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения - радиометры ультрафиолетового излучения, используемые в фотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок

Ключевые слова

энергетическая освещенность; спектральная чувствительность; средства измерений; ультрафиолетовое излучение; радиометр; фотолитография

Термины и определения

Раздел стандарта

Вид стандарта

1 - Основополагающие стандарты

Дескрипторы (английский язык)

state sysem, ensuring, uniformity, measurements, radiometer, ultraviolet radiation , photolithography, technological processes, testing, methods

Нормативные ссылки на: ГОСТ

Документ внесен организацией СНГ

Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (Росстандарт)

Управление Ростехрегулирования

2 - Управление метрологии

Количество страниц (оригинала)

15

Организация - Разработчик

Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений" (ФГУП ВНИИОФИ)

Статус

Действует

Код цены

2