ГОСТ Р 8.627-2007

Обозначение

ГОСТ Р 8.627-2007

Заглавие на русском языке

Государственная система обеспечения единства измерений. Измерение коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения. Методика выполнения измерений

Заглавие на английском языке

State system for еnsuring the uniformity of measurements. Measurements of coefficients of regular and diffuse transmittance of ultraviolet radiation. Methods for measurements

Дата введения в действие

01.07.2007

ОКС

17.020

Код КГС

Т84

Аннотация (область применения)

Настоящий стандарт распространяется на методику выполнения измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения, используемых для определения оптических констант материалов и тонких пленок, коэффициентов отражения зеркал и эффективности дифракционных решеток, а также при контроле технологических процессов в микроэлектронике

Ключевые слова

рефлектометр; коэффициент диффузного отражения; коэффициент зеркального отражения; средство измерений; вакуумное ультрафиолетовое излучение

Термины и определения

Раздел стандарта

Вид стандарта

1 - Основополагающие стандарты

Дескрипторы (английский язык)

state system, еnsuring, uniformity, measurements, coefficients, transmittance, ultraviolet radiation

Нормативные ссылки на: ГОСТ

Документ внесен организацией СНГ

Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (Росстандарт)

Документ принят организацией СНГ

Межгосударственный Совет по стандартизации метрологии и сертификации

Управление Ростехрегулирования

2 - Управление метрологии

Количество страниц (оригинала)

8

Организация - Разработчик

Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений" (ФГУП "ВНИИОФИ")

Статус

Действует

Код цены

1