ГОСТ Р 72477-2025
ГОСТ Р 72477-2025
Обозначение
ГОСТ Р 72477-2025
Заглавие на русском языке
Оборудование специальное технологическое, применяемое в микроэлектронном производстве. Общие технические условия
Заглавие на английском языке
Processing microelectronic equipment. General technical conditions
Дата введения в действие
01.07.2026
ОКС
31.240
Аннотация (область применения)
Настоящий стандарт распространяется на оборудование специальное технологическое, предназначенное для производства микросборок, а также других специализированных микроэлектронных изделий, использующих общие технологические методы
Ключевые слова
оборудование специальное технологическое, радиоэлектронные средства, микроэлектронное производство, микросборка
Термины и определения
Раздел стандарта
Вид стандарта
3 - Стандарты на продукцию (услуги)
Нормативные ссылки на: ГОСТ
ГОСТ 3.1109
ГОСТ 8.051
ГОСТ 9.014
ГОСТ 12.0.003
ГОСТ 12.1.004
ГОСТ 12.1.005
ГОСТ 12.2.003
ГОСТ 12.2.007.0
ГОСТ 12.2.007.14
ГОСТ 14.201
ГОСТ 14.206
ГОСТ 26.008
ГОСТ 27.003
ГОСТ 2991
ГОСТ 5959
ГОСТ 10198
ГОСТ 14192
ГОСТ 15150
ГОСТ 18680
ГОСТ 21130
ГОСТ 23000
ГОСТ 23872
ГОСТ 24297
ГОСТ 24686
ГОСТ 26975
ГОСТ CISPR 11
ГОСТ ИСО 14698-1
ГОСТ Р 2.101
ГОСТ Р 2.102
ГОСТ Р 52003
ГОСТ Р 56274
ГОСТ Р 59681
ГОСТ Р 71239
ГОСТ Р 71765
ГОСТ Р 72365
ГОСТ Р ИСО 14644-1
Управление Ростехрегулирования
1 - Управление стандартизации
Количество страниц (оригинала)
20
Организация - Разработчик
Общество с ограниченной ответственностью «Научно-технический центр технологической стандартизации и сертификации» (ООО «Авангард-ТехСт»), Открытое акционерное общество «Авангард» (ОАО «Авангард») и Федеральное государственное бюджетное учреждение «Российский институт стандартизации» (ФГБУ «Институт стандартизации»)
Статус
Действует
Код цены
3