ГОСТ Р 71656-2024
ГОСТ Р 71656-2024
СохранитьОбозначение
ГОСТ Р 71656-2024
Заглавие на русском языке
Изделия электронной техники. Электрохимический метод определения толщины слоев многослойных тонкопленочных структур
Заглавие на английском языке
Electronic equipment products. Electrochemical method for determining the thickness of layers of multilayer thin-film structures
Дата введения в действие
01.03.2025
ОКС
37.080
Аннотация (область применения)
Настоящий стандарт распространяется на изделия электронной техники (далее – изделия) и устанавливает электрохимический метод определения толщины слоев многослойных тонкопленочных структур, состоящих из следующих веществ:
Mo – MoNi – Ni; V – VSi2; Mo – MoSi2; V – VAl3 – V5Al8 – Al; Ni – TiNi – (TiNi + Ti2Ni) – Ti; Al – Al3Ni – Al3Ni2 – Ni; Ag – Cr; Sn – Sn5Cu6 – SnCu3; OBu – Sn5Cu6 – SnCu6 – SnCu3; пос – Sn5Cu6 – SnCu3.
Настоящий стандарт следует применять при контроле технологических процессов изготовления изделий электронной техники и анализе отказов
Ключевые слова
изделия электронной техники, толщины слоев, многослойные тонкопленочные структуры, электрохимический метод
Термины и определения
Раздел стандарта
Вид стандарта
3 - Стандарты на продукцию (услуги)
Нормативные ссылки на: ГОСТ
ГОСТ 9.008
ГОСТ 12.1.004
ГОСТ 12.1.005
ГОСТ 12.1.016
ГОСТ 12.1.019
ГОСТ 12.1.030
ГОСТ 12.2.003
ГОСТ 12.3.019
ГОСТ 12.4.009
ГОСТ 1770
ГОСТ 2603
ГОСТ 3652
ГОСТ 4168
ГОСТ 4204
ГОСТ 4207
ГОСТ 10067
ГОСТ 13867
ГОСТ 22752
ГОСТ 24363
ГОСТ Р 53228
ГОСТ Р 58144
ГОСТ Р 58593
Управление Ростехрегулирования
1 - Управление стандартизации
Количество страниц (оригинала)
12
Организация - Разработчик
Акционерное общество «Российский научно-исследовательский институт «Электронстандарт» (АО «РНИИ «Электронстандарт»)
Статус
Действует
Код цены
2