ГОСТ Р 71645-2024

Обозначение

ГОСТ Р 71645-2024

Заглавие на русском языке

Кремний полупроводниковый. Метод измерения концентрации примесей

Заглавие на английском языке

Silicon is a semiconductor. Method of measuring the concentration of impurities

Дата введения в действие

01.03.2025

ОКС

29.045

Аннотация (область применения)

Настоящий стандарт распространяется на вновь разрабатываемый и модернизируемый полупроводниковый кремний и устанавливает химико-атомно-эмиссионный метод измерения концентрации примесей с возбуждением спектров разрядов с горячим полым катодом. Интервалы определяемых значений концентрации примесей приведены в приложении А. Стандарт следует применять для выбора параметров при разработке технических заданий (ТЗ) на научно-исследовательские и опытно-конструкторские работы, программ испытаний (ПИ), опытных образцов, стандартов на методы измерений, номенклатуру показателей системы показателей качества и технического уровня полупроводникового кремния

Ключевые слова

кремний полупроводниковый, метод, концентрация примесей

Термины и определения

Раздел стандарта

Вид стандарта

3 - Стандарты на продукцию (услуги)

Нормативные ссылки на: ГОСТ

Управление Ростехрегулирования

1 - Управление стандартизации

Количество страниц (оригинала)

12

Организация - Разработчик

Акционерное общество «Российский научно-исследовательский институт «Электронстандарт» (АО «РНИИ «Электронстандарт»)

Статус

Действует

Код цены

2