ГОСТ Р 71422-2024

Обозначение

ГОСТ Р 71422-2024

Заглавие на русском языке

Структуры эпитаксиальные и пленки диэлектрические. Метод измерения толщины эпитаксиальных слоев арсенида галлия на основе сферического шлифа

Заглавие на английском языке

The epitaxial structures and dielectric films. Method for measuring the thickness of gallium arsenide epitaxial layers based on a spherical section

Дата введения в действие

01.03.2025

ОКС

33.060.99

Аннотация (область применения)

Настоящий стандарт распространяется на эпитаксиальные структуры арсенида галлия и устанавливает метод измерения толщины активного, контактного п+ и буферного п+ эпитаксиальных слоев в структурах галлия

Ключевые слова

эпитаксиальные структуры, метод измерения толщины слоя, сферический шлиф

Термины и определения

Раздел стандарта

Вид стандарта

3 - Стандарты на продукцию (услуги)

Нормативные ссылки на: ГОСТ

Управление Ростехрегулирования

1 - Управление стандартизации

Количество страниц (оригинала)

12

Организация - Разработчик

Акционерное общество «Российский научно-исследовательский институт «Электронстандарт» (АО «РНИИ «Электронстандарт»)

Статус

Действует

Код цены

2