ГОСТ Р 71024-2023

Обозначение

ГОСТ Р 71024-2023

Заглавие на русском языке

Пластины маскированные для фотошаблонов. Термины и определения

Заглавие на английском языке

Masked plates for photomasks. Terms and definitions

Дата введения в действие

01.03.2024

ОКС

31.180

Аннотация (область применения)

Настоящий стандарт распространяется на стеклянные заготовки, маскированные и резистовые пластины для фотошаблонов, применяемые в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем в радиоэлектронной аппаратуре, и устанавливает термины и определения понятий в области маскированных пластин для фотошаблонов. Термины, установленные настоящим стандартом, предназначены для применения во всех видах документации и литературы в области маскированных и резистовых пластин для фотошаблонов и контроля их качества, входящих в сферу работ по стандартизации и (или) использующих результаты этих работ

Ключевые слова

маскированные пластины, резистовые пластины, стеклянные заготовки, фотошаблоны, термины, определения

Термины и определения

Весь стандарт

Вид стандарта

3 - Стандарты на продукцию (услуги)

Управление Ростехрегулирования

1 - Управление стандартизации

Количество страниц (оригинала)

12

Организация - Разработчик

Акционерное общество «Российский научно-исследовательский институт «Электронстандарт» (АО «РНИИ «Электронстандарт»)

Статус

Действует

Код цены

2