ГОСТ 8.594-2009

Обозначение

ГОСТ 8.594-2009

Заглавие на русском языке

Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые. Методика поверки

Заглавие на английском языке

State system for ensuring the uniformity of measurements. Scanning electron microscopes. Method for verification

Дата введения в действие

01.11.2010

ОКС

17.040.01

Код КГС

Т88

Аннотация (область применения)

Настоящий стандарт распространяется на растровые электронные микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 (в степени минус девять) до 10 (в степени минус шесть) м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с использованием рельефных мер по ГОСТ 8.591 и ГОСТ 8.592

Ключевые слова

длина; рельефные меры нанометрового диапазона; растровые электронные микроскопы; методика поверки

Термины и определения

Раздел стандарта

Вид стандарта

1 - Основополагающие стандарты

Дескрипторы (английский язык)

state system, ensuring, uniformity, measurements, scanning electron microscopes, verification

Нормативные ссылки на: ГОСТ

Документ внесен организацией СНГ

Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (Росстандарт)

Документ принят организацией СНГ

Межгосударственный Совет по стандартизации метрологии и сертификации

Номер протокола

36-2009

Дата принятия в МГС

11.11.2009

Присоединившиеся страны

Кыргызская Республика; Республика Армения; Республика Беларусь; Республика Казахстан; Республика Молдова; Республика Таджикистан; Республика Узбекистан; Российская Федерация; Украина

Управление Ростехрегулирования

310 - Управление метрологии

Количество страниц (оригинала)

12

Организация - Разработчик

Открытое акционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» (Россия); Федеральное государственное учреждение «Российский научный центр «Курчатовский институт» (Россия); Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Московский физико-технический институт (государственный университет)» (Россия)

Статус

Действует

Код цены

2