ГОСТ 8.592-2009

Обозначение

ГОСТ 8.592-2009

Заглавие на русском языке

Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления

Заглавие на английском языке

State system for ensuring the uniformity of measurements. Single-crystal silicon nanometer range relief measures. Geometrical shapes, linear size and manufacturing material requirements

Дата введения в действие

01.11.2010

ОКС

17.040.01

Код КГС

Т88

Аннотация (область применения)

Настоящий стандарт устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния для диапазона линейных измерений от 10 (в степени минус девять) до 10 (в степени минус шесть) м. Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных микроскопов по ГОСТ 8.594 и сканирующих зондовых атомно-силовых микроскопов по ГОСТ 8.593 при проведении метрологического контроля (надзора), а также на рельефные меры, используемые при калибровке указанных типов микроскопов

Ключевые слова

длина; рельефные меры нанометрового диапазона; монокристаллической кремний; размеры; формы; материал; растровые электронные микроскопы; зондовые сканирующие атомно-силовые микроскопы

Термины и определения

Раздел стандарта

Вид стандарта

1 - Основополагающие стандарты

Дескрипторы (английский язык)

state system, ensuring, uniformity, measurements, nanometer range, relief measure, single-crystal, silicon, geometrical shapes, linear size, manufacturing material, requirements

Аутентичный текст с ГОСТ

ГОСТ Р 8.628-2007

Нормативные ссылки на: ГОСТ

Документ внесен организацией СНГ

Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (Росстандарт)

Документ принят организацией СНГ

Межгосударственный Совет по стандартизации метрологии и сертификации

Номер протокола

36-2009

Дата принятия в МГС

11.11.2009

Присоединившиеся страны

Кыргызская Республика; Республика Армения; Республика Беларусь; Республика Казахстан; Республика Молдова; Республика Таджикистан; Республика Узбекистан; Российская Федерация; Украина

Управление Ростехрегулирования

2 - Управление метрологии

Количество страниц (оригинала)

12

Организация - Разработчик

Открытое акционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» (Россия); Федеральное государственное учреждение «Российский научный центр «Курчатовский институт» (Россия); Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Московский физико-технический институт (государственный университет)» (Россия)

Статус

Действует

Код цены

2