ГОСТ 26239.8-84

Обозначение

ГОСТ 26239.8-84

Заглавие на русском языке

Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния

Заглавие на английском языке

Semiconductor silicon and raw materials for its production. Method of dichlorsilane, trichlorsilane and silicon tetrachloride determination

Дата введения в действие

01.01.1986

ОКС

29.045

Код КГС

В59

Код ОКСТУ

1709

Аннотация (область применения)

Настоящий стандарт устанавливает метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния в четыреххлористом кремнии ректификационно очищенном и в смесях четыреххлористого кремния с трихлорсиланом

Ключевые слова

кремний полупроводниковый; кремний четыреххлористый; очистка ректификационная; смесь; трихлорсилан; анализ хроматографический; аппаратура; материалы; реактивы

Вид стандарта

4 - Стандарты на методы контроля

Вид требований

Документ имеет отметку *