ГОСТ 25196-82

Обозначение

ГОСТ 25196-82

Заглавие на русском языке

Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования

Заглавие на английском языке

Vacuum equipment. Apparatus for ion implantation. General technical requirements

Дата введения в действие

01.07.1983

ОКС

23.160

Код ОКП

627335

Код КГС

Э71

Код ОКСТУ

6273

Аннотация (область применения)

Настоящий стандарт распространяется на установки для ионной имплантации, предназначенные для внедрения ионов твердых, газообразных и жидких веществ массой от 1,666 57х10 в ст. минус 27 до 217,534 67х10 в ст. минус 27 кг (от 1 до 131 а. е. м.), в том числе элементарных и многозарядных ионов бора, фосфора, цинка, мышьяка, селена и сурьмы с эквивалентной энергией ионов от 1,6х10 в ст. минус 15 до 1,6х10 в ст. минус 13 Дж (от 10 до 1200 кэВ) при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных схем и других изделий микроэлектроники

Ключевые слова

оборудование вакуумное; установки для ионной имплантации

Вид стандарта

3 - Стандарты на продукцию (услуги)

Вид требований

Документ имеет отметку *

Содержит требования: СЭВ

СТ СЭВ 2760-80

Нормативные ссылки на: ГОСТ

Управление Ростехрегулирования

220 - Управление стандартизации и сертификации в машиностроении

Разработчик МНД

Российская Федерация

Количество страниц (оригинала)

3

Статус

Действует

Код цены

1