Москва: (499)-703-45-21; (926)-783-84-28
СПб: (812)-240-22-32; (921)-950-45-44

ГОСТ 5.2105-73

Обозначение ГОСТ 5.2105-73
Тип документа Государственный стандарт (ГОСТ)
Статус НД Действует
Взамен
Заменяющий
Заглавие Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции
Title Laser ellipsometric microscope ЛЭМ-2. Quality requirements of sertified products
Объем 13
Введён 1.9.1973
Срок действия
Коды КГС Э72 Контрольно-испытательное оборудование для контроля качества изделий электронной и радиопромышленности
Коды ОКС 31.260 Оптоэлектроника. Лазерное оборудование *Включая фотоэлементы
Коды ОКП 443500 Микроскопы световые, лупы
Изменения
Область применения Настоящий стандарт распространяется на лазерный эллипсометрический микроскоп ЛЭМ-2, предназначенный для определения эллипсометрических параметров поляризованного света, определяемых по углам поворота оптических элементов в момент погасания, что позволяет использовать прибор для измерения толщины и показателя преломления прозрачных диэлектрических покрытий на отражающих полированных поверхностях различных материалов и, в частности, на полупроводниковых пластинах, а также для контроля равномерности и однородности диэлектрических пленок по площади и определения наличия и толщины окисла в окнах, вытравленных в процессе изготовления полупроводниковых приборов
Примечения
Ограничение срока действия снято
Ключевые слова
Разработчик Российская Федерация
Ссылка для скачивания ГОСТ 5.2105-73