ГОСТ 5.2105-73

Обозначение

ГОСТ 5.2105-73

Заглавие на русском языке

Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции

Заглавие на английском языке

Laser ellipsometric microscope ЛЭМ-2. Quality requirements of sertified products

Дата введения в действие

01.09.1973

ОКС

31.260

Код ОКП

443500

Код КГС

Э72

Код ОКСТУ

6687

Аннотация (область применения)

Настоящий стандарт распространяется на лазерный эллипсометрический микроскоп ЛЭМ-2, предназначенный для определения эллипсометрических параметров поляризованного света, определяемых по углам поворота оптических элементов в момент погасания, что позволяет использовать прибор для измерения толщины и показателя преломления прозрачных диэлектрических покрытий на отражающих полированных поверхностях различных материалов и, в частности, на полупроводниковых пластинах, а также для контроля равномерности и однородности диэлектрических пленок по площади и определения наличия и толщины окисла в окнах, вытравленных в процессе изготовления полупроводниковых приборов

Вид стандарта

Стандарты на продукцию (услуги)

Управление Ростехрегулирования

220 - Управление стандартизации и сертификации в машиностроении

Разработчик МНД

Российская Федерация

Количество страниц (оригинала)

13

Статус

Действует

Код цены

2